Acquisition d'un spectromètre de masse à temps de vol (TOF-MS) pour l'analyse en ligne des procédés de dépôt de couches minces destinées aux matériaux de batteries

Le présent marché a donc pour objet la fourniture, l'installation, la mise en service et la formation associées à un spectromètre de masse à temps de vol (TOF-MS) destiné à l'analyse en temps réel des gaz de procédé au sein d'une plateforme de dépôt de couches minces dédiée au développement de matériaux pour batteries